 |
小型等離子清洗機PCE-6V合肥科晶產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
PCE-6V小型等離子清洗機集成了RF等離子體發(fā)生技術(shù)、計算機控制技術(shù)、軟件編程技術(shù)，采用氣體作為清洗介質(zhì)，有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來(lái)的二次污染。工作時(shí)外接一臺真空泵，清洗腔內的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面，可短時(shí)間內徹底清洗掉有機污染物，清洗程度可達到分子級。另外，其樣品臺可選配加熱功能，可加負偏壓，用以實(shí)現離子蝕刻。此外，其可在特定條件下根據需要改變某些材料表面的性能。
小型等離子清洗機PCE-6V合肥科晶產(chǎn)品技術(shù)參數：
|
主要特點(diǎn) |
l采用氣體作為清洗介質(zhì)，避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來(lái)的二次污染。 l可短時(shí)間內徹底清洗掉有機污染物。 l清洗程度可達到分子級。 l可在特定條件下根據需要改變某些材料表面的性能。 l清洗過(guò)程中的輝光放電可對某些特殊用途的材料加強粘附性、相容性和浸潤性，并可消毒和殺菌。 l樣品臺可選配加熱功能，可加負偏壓，用以實(shí)現離子蝕刻。 l廣泛應用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫學(xué)、微觀(guān)流體學(xué)等領(lǐng)域。
|
|
參數 |
l電壓：AC220V 10A l消耗功率：<500W（包括真空泵） lRF電源：輸出功率100W，輸出頻率13.56MHz l腔體：Φ190mm×98mm
l石英管：Φ180mm×55mm，壁厚7mm l內腔：Φ165mm×55mm l清洗電極：Φ120mm l樣品臺：Φ150mm，有效尺寸Φ140mm l樣品臺與電極間距：15mm-50mm可調 l抽氣管：Φ12mm l極限真空度：0.1Pa l工作真空度：60Pa-500Pa l氣路數量：2路（選裝） l流量控制器數量：1、2 l流量顯示儀：2通道 l氣路接口：Φ6mm l加熱樣品臺：Φ140mm，加熱樣品溫度RT-600℃±1℃（選裝） l冷卻水壓力：0.2KPa-0.4KPa l工作環(huán)境：溫度5℃-35℃，濕度<80%（相對濕度）不結露，海拔高度0-2000m
|
|
產(chǎn)品規格 |
l尺寸：245mm×235mm×460mm（不含真空泵） l重量：20kg（不含真空泵）
|
|
可選配置 |
l加熱樣品臺 l流量控制器（量程10、50、100，最多可增加2個(gè)通道）
|
北京中儀公司介紹 | 采購必讀 | 聯(lián)系我們 | 實(shí)驗室儀器品牌 | 實(shí)驗室儀器報價(jià) | 版權聲明 | 供貨合作 | 友情鏈接
