三靶射頻磁控濺射鍍膜儀VTC-3RF合肥科晶產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
VTC-3RF三靶射頻磁控濺射鍍膜儀,配有磁控等離子濺射頭和射頻(RF)等離子電源,此款設備主要用于制作非導電薄膜,特別是一些氧化物薄膜。對于新型非導電薄膜的探索,它是一款廉價(jià)并且高效的實(shí)驗幫手。
三靶射頻磁控濺射鍍膜儀VTC-3RF合肥科晶產(chǎn)品技術(shù)參數:
設備名稱(chēng)
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三靶射頻磁控濺射鍍膜儀--VTC-3RF
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產(chǎn)品提示
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1、多種配件可選提示 2、特殊設備尺寸設備 3、科晶實(shí)驗室邀請提示 4、配件妥善保管提示
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主要特點(diǎn)
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·標配的石英腔體(也可選配金屬腔體)方便觀(guān)察(圖1)
·相比傳統濺射儀,體積小巧,拆裝方便(圖2)
·模塊化設計,靶頭,電源等多種可選,自由DIY(圖3)
·基臺可旋轉可加熱
·可濺射金屬和氧化物。實(shí)驗室已初步制備了 氧化鋅、碲化鉍、ITO、ATO、AU、Ag、Cu、Al、Mg、Sc等薄膜。
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基本參數
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1、輸入電源:220V AC50/60Hz
2、設備功率:<1500W
3、靶臺加熱溫度:500℃
4、樣品臺轉速:0-10r/min
5、靶頭可調傾角:0-25度
6、濺射腔體尺寸:278mm OD x 272mm ID x310mm H。
7、靶材尺寸要求:1英寸磁控濺射靶頭Φ25.4mm ×(0.1-3)mm(厚度) 2英寸磁控濺射靶頭Φ50mm ×(0.1-3)mm(厚度)
8、最高使用功率:1英寸磁控濺射靶頭100W 2英寸磁控濺射靶頭300W
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機體結構
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·設備配備三個(gè)直流射頻通用靶頭,1英寸2英寸尺寸可選。
·儀器中安裝有直徑為50mm的不銹鋼可旋轉樣品臺,最高加熱溫度是500℃(圖1)
·配有300W自動(dòng)匹配射頻電源和500W的直流濺射電源(可自由選擇)(圖2)
·設備上配1/4英寸進(jìn)氣口方便連接氣瓶(圖3)
·配有靶頭電動(dòng)升降臺(圖4)
·配有高純石英密封罩(圖5)
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配置可選
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2英寸高真空加熱臺
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膜厚監測儀
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供氣系統
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高真空系統
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反射光譜薄膜測厚儀
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水冷機
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真空干燥箱
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冷阱
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靶材
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晶體襯底材料
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超聲波清洗機
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等離子清洗機
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產(chǎn)品外形尺寸
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·700mm L x 770 mm W x 1900 mm H
·凈重:80 kg(不包括泵)

備注:此產(chǎn)品尺寸為參考值,可能存在一定的誤差。如果您對尺寸有精確的要求,請在購買(mǎi)前和我公司聯(lián)系確認,以免給您造成不便。
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實(shí)驗室參考案例
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以下數據僅針對合肥科晶設備,不具有普遍性。
濺射氧化鋅薄膜
基底采用:藍寶石(0001)基片(5*5*1mm3);
靶材采用:Φ1”×2.5mm高純ZnO陶瓷靶

XRD薄膜高分辨圖
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濺射ITO薄膜
基底采用:Si(0001)基片(5*5*1mm3);
靶材采用:Φ2”×2.5mm高純ITO靶

EDS元素成分分析圖
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濺射Mg薄膜
基底采用:Si(0001)基片(5*5*1mm3);
靶材采用:Φ2”×2.5mm高純Mg靶

EDS元素成分分析圖
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濺射Sc薄膜
基底采用:Si(0001)基片(5*5*1mm3);
靶材采用:Φ2”×2.5mm高純Sc靶

EDS元素成分分析圖
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實(shí)驗案例照片
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氧化鋅 |
ATO |
ITO |
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鎂 |
碲化鉍 |
鉑 |
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金 |
銀 |
銅 |
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鋁 |
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相關(guān)視頻
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操作視頻 |
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應用技術(shù)提示
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1、為了保證濺射效果,非導電靶材必須安裝銅墊塊
2、有時(shí)為了達到理想的薄膜厚度,可能需要多次濺射鍍膜
3、為了得到較好的薄膜質(zhì)量,必須通入高純氣體(建議> 5N)
4、在濺射鍍膜前,確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺的潔凈
5、要達到薄膜與基底良好結合,請在濺射前清潔基材表面
6、在分子泵出口安裝有一個(gè)可手動(dòng)操作的擋板
超聲波清洗:(1)丙酮超聲(2)異丙醇超聲-去除油脂(3)吹氮氣干燥(4)真空烘箱除去水分。
等離子清洗:可表面粗糙化,可激活表面化學(xué)鍵,可祛除額外的污染物。
制造一個(gè)薄的緩沖層(5納米左右):如Gr,Ti,Mo,Ta,可以應用于改善金屬和合金的附著(zhù)力。
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警
示
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注意:產(chǎn)品內部安裝有高壓元件,禁止私自拆裝,帶電移動(dòng)機體。
1、1英寸靶頭最大使用功率為100W
2、2英寸靶頭最大使用功率為300W
3、氣瓶上應安裝減壓閥(設備不包括),保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕以下,以安全使用。
4、濺射頭連接到高電壓。為了安全,操作者必須在關(guān)閉設備后才能進(jìn)行裝樣和更換靶頭等操作。
5、請勿在易燃易爆氣體環(huán)境下使用該設備
6、請勿在潮濕的環(huán)境下使用該設備
7、機體上禁止放置茶杯等裝有液體的器物
8、禁止儀器通電狀態(tài)下去拔插電源插頭
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質(zhì)量認證 |
CE認證
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質(zhì)保
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一年保修,終身技術(shù)支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。
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